Евгений Берлин 5

Упрочнение стальных деталей плазмохимической обработкой

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей